728x90 공정법5 Etching layer을 원하는 두께만큼 깎아내는 공정이다. patterning이란 photolithography + etching과정을 말한다. 지표 etching rate : 얼마나 빠르게 깎여나가는지. (두께/시간) etching profile isotropic (등방성의) : 방향에 상관없이 모두 일정한 etching rate을 가진다 (vertical etch rate = horizontal etch rate) _ wet etching (pure chemical reaction) anisotropic (비등방성의) : 방향에 따라 다른 etching rate을 가진다 (vertical etch rate >> horizontal etch rate) _ dry etching (ion-assisted etchin.. 2023. 10. 23. Photolithography photolithography process cleaning wafer prime spin coating of PR soft bake alignment & exposure PEB development hard bake etching PR strip 1. cleaning RCA cleaning : a standard set of wafer cleaning step 중요한 공정 이전, 이후에 사용되는 경우가 많다. wafer를 깨끗하게, 잔여물을 제거하기 위해서 RCA cleaning 공정을 사용한다. 다량의 화합물이 필요하다. Piranha : remove organic residue, 황산과 과산화수소수를 이용 ← 과산화수소수가 산화, 황산이 산화막 제거 SC-1 : remove organic & par.. 2023. 10. 23. Metallization _ Damascene Process BEOL(Back End Of Line, 후공정)에서는 수평면으로 금속선 회로를 깔고, 수직 방향으로는 소자가 외부와 소통할 수 있도록 소자의 4개 단자와 연결하는 콘택트(Contact)와 비아홀(Via Hole)을 형성한다. 소자와 소자, 소자와 외부를 잇는 이 같은 과정을 ‘Metallization 공정’이라고 한다. 용어 contact : 다른 물질 간의 접합부위 interconnection : contact들을 서로 연결한 metal line metallization : interconnection을 만드는 공정 (→ 원하는 형태의 회로를 구성한다. → 층이 여러 개가 형성된다.) IMD(inter metal dielectric) : metal 사이의 절연물질 via : metal 사이의 연결을 .. 2023. 10. 23. Oxidation 공정 NMOS의 제작과정 1. p-si에 oxidation을 통한 SiO2 (GI) 형성 2. poly-si 증착 (deposition) 3. etch 4. implantation (S,D 형성) gate insulator와 substrate의 접합 (Si와 SiO2 접합)이 가장 중요하다. oxidation furnace내에 O2나 H2O를 주입해서 oxidation을 발생시킨다. 1. Si+O2 + 고온(1000도) → SiO2 방식을 dry oxidation이라고 하며 더 얇게 만들 수 있다. 2. Si + 2H2O → SiO2 + 2H2 방식을 wet oxidation이라고 하며 수증기를 넣음으로써 더 빠르고 두껍게 만들 수 있다. oxidation 공정을 진행하지 않을 때에는oxidation furn.. 2023. 10. 21. Sputter sputtering공정은 플라즈마를 통해 양이온이 전기장의 힘을 받아 음극으로 가속되는 현상을 이용한 공정이다. 가속된 양이온은 음극과 충돌하게 되며, 충돌에너지가 큰 경우에는 음극을 구성하고 있는 물질의 표면에서 원자를 떼어낼 수 있다. 볼 풀이 있다고 생각해보자. 여기에 농구공을 아주 세게 던진다고 생각하면 볼들이 튕겨져 나와서 주변 벽면에 부딪힐 것이다. 벽면을 기판이라고 생각하면 쉽다. 벽면에 부딪힌 볼들이 증착되는 것이 sputter 공정이다. Sputter 장비의 구성 pumping : 1차, 2차 펌프가 연결되어 있다. power supply : 음극에 전원을 공급하며 DC라 써놓긴 했지만 AC를 써도 된다. 대부분의 경우, AC주파수 중 13.56Hz의 주파수를 가진 고주파 (RF) 교류를.. 2023. 10. 20. 이전 1 다음 728x90
