728x90 Damascene Process1 Metallization _ Damascene Process BEOL(Back End Of Line, 후공정)에서는 수평면으로 금속선 회로를 깔고, 수직 방향으로는 소자가 외부와 소통할 수 있도록 소자의 4개 단자와 연결하는 콘택트(Contact)와 비아홀(Via Hole)을 형성한다. 소자와 소자, 소자와 외부를 잇는 이 같은 과정을 ‘Metallization 공정’이라고 한다. 용어 contact : 다른 물질 간의 접합부위 interconnection : contact들을 서로 연결한 metal line metallization : interconnection을 만드는 공정 (→ 원하는 형태의 회로를 구성한다. → 층이 여러 개가 형성된다.) IMD(inter metal dielectric) : metal 사이의 절연물질 via : metal 사이의 연결을 .. 2023. 10. 23. 이전 1 다음 728x90