728x90 TOF-SIMS1 TOF-SIMS (time of flight secondary ion mass spectroscopy) TOF-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)는 표면 분석 기법 중 하나로, 샘플 표면에 고속 이온 빔을 조사하여 생성된 이차 이온들의 질량을 시간 비행 방식으로 측정하는 방법이다. 원리 샘플 표면에 고에너지 이온 빔 (예: Ga+, Bi+)을 조사하면, 샘플로부터 이차 이온들이 방출된다. 이 방출된 이차 이온들은 전기장 내에서 가속되어 비행 튜브를 통과하게 된다. 이온들의 비행시간은 그들의 질량과 에너지에 따라 달라진다. 따라서, 이온들의 비행시간을 측정함으로써 질량을 결정할 수 있다. 응용 TOF-SIMS는 샘플 표면의 화학적 구성, 원소 분포, 분자 구조 등의 정보를 제공한다. 극미량의 물질도 검출할 수 있으며, 고해상도의 이미징도 가능하다... 2023. 10. 25. 이전 1 다음 728x90
