728x90 etching1 Etching layer을 원하는 두께만큼 깎아내는 공정이다. patterning이란 photolithography + etching과정을 말한다. 지표 etching rate : 얼마나 빠르게 깎여나가는지. (두께/시간) etching profile isotropic (등방성의) : 방향에 상관없이 모두 일정한 etching rate을 가진다 (vertical etch rate = horizontal etch rate) _ wet etching (pure chemical reaction) anisotropic (비등방성의) : 방향에 따라 다른 etching rate을 가진다 (vertical etch rate >> horizontal etch rate) _ dry etching (ion-assisted etchin.. 2023. 10. 23. 이전 1 다음 728x90